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      供气系统 4路质子 GMF-4Z 触摸屏控制

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      供气系统 4路质子 GMF-4Z 触摸屏控制

      • 所属分类:真空及供气系统

      • 点击次数:
      • 发布日期:2019/07/26
      • 规格:
      • 类型:
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      • 详细介绍

       该供气系统是一种可控制四种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制,此款设备能与各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。

       

       

      配置组件
      技术参数
      质量流量控制器
      工作电压:
      185~245V 50HZ
      Z大输出功率:
      18W
      流量计标准量程:
      100sccm,200sccm,200sccm,500sccm(非特殊指定以氮气标定,量程可选)
      工作温度:
      5~45℃
      工作压差:
      0.1~0.5MPa
      Z大压力:
      3MPa
      准确度:
      ±1.5% FS
      机械压力表
      测量范围:
      -0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)
      针阀
      316不锈钢
      混气罐
      Φ80×120mm
      截止阀
      Φ6mm”316不锈钢针阀
      尺寸
      600×600×650 mm


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