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      高温CVD系统

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      高温CVD系统

      • 所属分类:cvd系统

      • 点击次数:
      • 发布日期:2020/01/19
      • 规格:
      • 类型:
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      • 详细介绍

      型号:BTF-1700C-CVD

      设备特点:

       

      此款1700℃高温CVD系统,是由1700度管式炉、三路质量流量计系统以及国产高真空系统(或选配低真空系统)所组成。此设备主要用于:真空或气氛烧结、基片镀膜等要求加热温度较高的实验环境. 设备技术成熟、质量可靠,温场均匀,结构合理,气路选用液晶屏触摸界面,使得操作异常简单、方便;设备的各项技术参数,30段可编程温控系统更是一目了然,使整个实验的运行状态尽在您的掌控之中。

       

       

       

       

       

       

       

      加热区参数

      炉管尺寸:Φ60/80×1000mm(管径可选)

      加热元件:硅钼棒

      加热区长度:300mm
      恒温区长度:150mm
      工作温度:1550℃
      高温度:1650℃
      控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
      控温精度:±1℃

      推荐升温速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min
      工作电源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

      额定功率:5.2 KW

      外型尺寸:610×440×720 mm

      标准配件:高纯刚玉管1支,氧化铝管堵2对,不锈钢法兰1套,氟胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支,小保险1个;

      密封系统:炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头)

      端口可按实际使用扩展。

       

       

       

       

       

       

       

      气路系统参数:

       

      质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可选)

      准确度:±1.5%

      线性:±0.51.5%

      重复精度:±0.2%

      响应时间:气特性:14 Sec,电特性:10 Sec

      工作压差范围:0.10.5 MPa

      大压力:3MPa

      接口:Φ6,1/4''

      显示:4位数字显示

      工作环境温度:5~45高纯气体             

      内外双抛不锈钢管:Φ6

      压力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

      截止阀:Φ6

      连接头类型:双卡套不锈钢接头。

      可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。

       

       

       

       

       

       

       

      低真空系统参数:

       

      国产油泵型号:BSV-10

      抽速:10m3/h

      极限真空度:5*10-1pa

      电源:220v 50hz

      电机功率:0.4kw  

      进排气连接口:KF25

      用油量:1.1L

      电机转速:1440rpm

      工作环境温度:5-40℃

      噪音:≤56db

      电阻真空计参数:

      1.配用规管:ZJ-52T电阻规,

      2.测量范围: 10 5 ~10 -1 Pa,

      3.测量路数: 1路

      4.控制范围: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

      5.控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载,

      6.电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

      7.功耗: 20W

      采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接。

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

      高真空系统参数:

       

      空气相对湿度:≤85%

      工作电压:AC220V±10%  50/60HZ

      功率:1KW

      系统整体极限真空度:10-5Pa

      实验真空度:10-3Pa

      外形尺寸:850×600×650mm

      机械泵:

      抽气速率:10m3/h

      容油量:1.1L

      电机功率:400W

      极限压强:6×10-2Pa

      分子泵:

      抽气速率:100L/S

      极限压强:6×10-6Pa

      启动时间:<2min

      额定转速:4300转/分

      冷却方式:环境温度5-32℃时,风冷;5-40℃时,水冷。

      分子泵控制器:

      电压:220V±22V

      启动电流:≤7A

      输入频率:47HZ—63HZ

      大输出功率:≤150W

      大加速电压:≤40V

      加速时间:≤3min

      频率(双速):高速705HZ±10HZ

                   低速430HZ±5HZ

      复合真空计:

      测量路数:2路(电阻规、电离规各1路)

      工作模式:手动/自动

      电阻单元参数

      规管型号:ZJ-52T电阻规

      测量范围:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

      有效范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

      控制范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

      电离单元参数

      规管型号:ZJ-27电离规

      可测范围:5.0Pa~1.0×10-5Pa

      有效范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

      控制范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

      规管除气方式:焦耳去气

      其他参数

      控制路数:4路

      控制方式:点动或区域控制/带掉电记忆

      控制精度:±1%

      采样时间:1S

      电源:220V±10% 50HZ

      功耗:50W

      使用环境温度:0℃~45℃

      湿度:≤85%

      连接管路:

      采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s

      采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接。

       

       

       备注:

       

      可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。


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